TL-EHD

Integrierte Druck- und Prozesssteuerung

Spannungsverläufe steuern Tropfenausstoß und Abscheidung. Vier Kameraansichten ergänzen die geregelte Bewegungssteuerung. Musterimport, Zeichnen und parametrische Bearbeitung setzen die gewünschte Geometrie in eine Druckbahn um.

Tropfendruck im Nahfeld

Die Düsenspitze befindet sich einige zehn bis mehrere hundert Mikrometer über dem Substrat. Das elektrische Feld stößt einzelne Tropfen an definierte Positionen aus. Synchronisierte Bewegung und Tropfenabgabe überlagern benachbarte Ablagerungen zu Linien und komplexen Mustern.

Maschinenaufbau

Der Zugang von allen vier Seiten erleichtert Probenwechsel, Wartung und Erweiterungen. Ein Marmorsockel trägt das Präzisionsbewegungssystem. Zwei große Displays zeigen Bewegung, Kamerabilder, Signalformen und Rückmeldungen. Abmessungen: 1613 × 908 × 724 mm. Gewicht: ca. 500 kg.

Einstellbare Hochspannung

Digital gesteuerter, programmierbarer Ausgang von 0 bis 2000 V. Der Ausgangsstrom ist von 0 bis 10 mA stufenlos einstellbar.

Überwachung mit Digitaloszilloskop

Ein Zweikanal-USB-Oszilloskop überwacht Spannung und Impulse bei der Prozesseinstellung. Analoge Bandbreite: 50 MHz. Abtastrate: bis 200 MSa/s. Empfindlichkeit: 10 mV/div–2 V/div. Eingangsbereich: −100 V bis +100 V (DC + AC).

Mikrodüsen und Halter

Düsengrößen von 1 bis 100 μm. Die Öffnung wird nach Tintenviskosität und Zielmuster ausgewählt. Kleinere Öffnungen werden meist mit niedrigviskosen Tinten verwendet. Spezielle Halter verbinden die Düsen mit dem Fördersystem.

Zwei Druckköpfe mit manueller Umschaltung

Zwei Mikrodüsen ermöglichen gleichzeitigen oder abwechselnden Betrieb. Jede Düse besitzt eine unabhängige X–Y–Z-Verstellung. Mehrere Kameraansichten unterstützen Ausrichtung und Prozesskontrolle.

Präzise Tintenförderung mit Spritzen

Förderrate: 0,01 μL/h bis 99,9 mL/h. Flüssigkeitsviskosität: 300–5000 cP. Spritzenvolumen: 1, 10 und 20 mL. Edelstahlkanülen mit Luer-Anschluss werden passend zur Tinte ausgewählt.

Vakuumspannfutter und Substrathalterung

Ein vergoldetes Vakuumspannfutter mit mehreren Ringen nimmt Siliziumwafer mit 1, 2, 3 und 4 Zoll auf. Es ermöglicht die Nivellierung und ist für den Hochspannungsbetrieb elektrisch isoliert. Eine leise Zweikanal-Vakuumpumpe bietet einstellbare Saugkraft für Fixierung und Probenwechsel.

UV-Härtung bei 365 nm

Die Härtung kann unabhängig oder mit dem Druck synchronisiert gesteuert werden. Programmierbare Härtung folgt der Bahn sequenziell oder synchron. Die Quelle bewegt sich mit der Z-Achse und lässt sich relativ zur Düse fein einstellen. Vier seitliche Arbeitspositionen können gespeichert und abgerufen werden.

Positionierung von Kameras und Druckköpfen

Wählen Sie die für die Aufgabe geeignete Kameraansicht. Kamera und Düse lassen sich unabhängig in X, Y und Z einstellen. Zwischen Optik und Druckkopf bleibt ein geeigneter elektrischer Sicherheitsabstand.

Musterbasierte Drucksoftware

Muster bearbeiten, Bahnen ansehen und Betriebszustände überwachen, ohne G-Code manuell zu schreiben. Die Software erzeugt und führt Bewegungsbefehle aus. Die geregelte Positionsrückmeldung liefert X–Y–Z-Werte in Echtzeit.

Wegbasierte Synchronisation der Tropfenabgabe

Wegabhängige Tropfenabgabe stimmt den Tropfenabstand auf die Bewegungsgeschwindigkeit ab. Eckkompensation unterstützt gleichmäßige Linienbreiten bei Geschwindigkeitsänderungen. Die Bahnplanung umfasst geschwindigkeitsabhängige Eckenrundung und Einfahrbewegungen.

Dateiimport und Auftragsverwaltung

Muster importieren, Prozessparameter einstellen und Bewegungen in einem Arbeitsablauf ausführen. Auftragswarteschlangen und Sicherungen globaler Parameter ermöglichen Wiederverwendung und Wiederherstellung nach unbeabsichtigten Änderungen.

Parametrisches Zeichnen und Skripte

Punkte, Linien, Kreise, Bögen, Ellipsen, Rechtecke und Polylinien zeichnen. Chinesische oder englische Texte, Barcodes und QR-Codes ergänzen.

Acht Füllstrategien umfassen Linien-, Kreuzschraffur-, Mäander- und Sandwichfüllungen. Gitter, Kreisanordnungen und Standardmuster lassen sich parametrisch bearbeiten, mit Bahnanzeige in Echtzeit.

Skripte unterstützen Schleifen, Bedingungen, Variablen und Trigonometrie sowie Maßermittlung für CAD- und 3D-Geometrien.

Interdigitale Elektrodenmuster

Zwei ineinandergreifende Sätze von Elektrodenfingern sind durch Spalte getrennt. Schema und Mikroaufnahmen zeigen die Gesamtgeometrie und lokale Details. Maßangaben sind den Bildmaßstäben zu entnehmen.

Komplexe Texte und 2D-Mikromuster

Das Beispiel eines chinesischen Gedichts zeigt die Umsetzung dichter Muster und komplexer Schriftzüge in ausführbare Bahnen. Mikroskopische Kontrolle zeigt Gesamtform, Linienverbindungen und lokale Ablagerungen.